Уайт Вильям
Проектирование чистых помещений
В книге кратко изложены основные понятия техники чистых помещений, их история, дан подробный обзор стандартов по чистым помещениям. Значительное внимание уделено особенностям проектирования чистых помещений для микроэлектроники, производства изделий медицинской техники, фармацевтической и биотехнологической промышленности.